計量器等の区分 | 種 類 | 校正範囲 | 最高測定能力 (k=2,L=呼び寸法mm) |
一次元寸法測定器 | ブロックゲージ (光波干渉測定法) |
0.1mm以上100mm以下 | 0.020μm |
100mmを超え250mm以下 | (0.010+0.000080L)μm | ||
250mmを超え1000mm以下 | (0.020+0.00020L)μm | ||
ブロックゲージ (比較測定法) |
0.1mm以上100mm以下 | 0.06μm | |
100mmを超え1000mm以下 | (0.04+0.00043L)μm | ||
各種長さ測定用校正器で測定面が平面であるもの (光波干渉測定法) |
0.1mm以上2010mm以下 | (0.26+0.54L/1000)μm |
校正証明書(JCSSロゴ付き)の発行
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(1) |
光波干渉測定法: 0.1mm以上1000mm以下の全てのゲージブロックに発行することが可能です。 |
(2) | 比較測定法:特殊なゲージブロックを除いたほとんどの種類に添付する事が可能です。詳細は弊社の営業センタにお問い合わせください。 |
写真1 ゲージブロック自動光波干渉計
(1) 光波干渉測定室(地下測定室)
温度 20℃±0.5℃
湿度 40%〜65%
(2) 比較測定室
温度 20℃±1℃
(3) 光波干渉計
1) ゲージブロック自動光波干渉計(自社製
写真1)
基本仕様
光源: 安定化He-Neレーザ
測定範囲: 〜250mm
測定精度: ±20nm/100mm、±40nm/200mm
測定能率: 6分/個(40個/日)
2) 長尺横形干渉計(自社製)
基本仕様
光源: 安定化He-Neレーザ
測定範囲: 100mm〜1000mm
測定精度: ±190nm/1000mm
3) 段差ゲージ用光波干渉計(自社製)
基本仕様
光源: 安定化He-Neレーザ
測定範囲: 0.1mm〜2010mm
測定精度: ±800nm/1000mm
(4) 比較測定機
1) 自動比較測定機
基本仕様
測定範囲: 0.5mm〜100mm
測定精度: ±20nm
測定力: 2.2N±0.2N
2) 手動式比較測定機
基本仕様
測定範囲: 0.5mm〜100mm
測定精度: ±20nm
測定力: 2.2N±0.2N